Зв’язок розподілу домішок в монокристалах кремнію з технологічними параметрами вирощування

ЗМІСТ
стор.
Вступ…………………………………………………………………………………………
Розділ1. Домішки в монокристалах кремнію, вирощуваних за методом
Чохральського………………………………………………………………….
1.1. Вимоги до параметрів монокристалів кремнію, вирощуваних за методом
Чохральського………………………………………………………
Концентрація і розподіл електрично активних домішок……………
Концентрація і розподіл забруднюючої домішки кисню………………
1.4. Концентрація і розподіл забруднюючої домішки вуглецю…………….
Висновки до
розділу …………………………………………………………
Розділ 2. Методика досліджень………………………………………………
2.1. Характеристика використаного технологічного обладнання ………….
2.2. Характеристика використаної сировини……………………………….
2.3. Методика вимірювань концентрації домішок в промислових умовах.
2.3.1. Визначення концентрації легуючих домішок…………………………
2.3.2. Визначення концентрації домішок кисню й вуглецю………………
2.4. Методика визначення густини мікродефектів………………………….
Висновки до
розділу …………………………………………………………
Розділ 3. Оцінювання ефективного коефіцієнта розподілу домішок………
3.1. Аналіз методологічних підходів до оцінювання ефективного коефіцієнта
розподілу домішок……………………………………………….
3.2. Розробка математичної моделі розподілу
летучої домішки фосфору……………………………………………………
3.3. Розробка математичної моделі розподілу домішки кисню……………
3.4. Удосконалення математичної моделі розподілу
домішки
вуглецю…
3.5. Удосконалення математичної моделі розподілу домішки бору……….
3.6. Оцінки фізичних параметрів розподілу домішок
за експериментальними даними………………………………………………
Висновки до
розділу …………………………………………………………
Розділ 4. Зв’язок розподілу домішок в монокристалах кремнію з їхньою
концентрацією і технологічними факторами вирощування………………
4.1. Розподіл легуючих і фонових домішок за довжиною монокристалів
кремнію…………………………………………………………………………
4.2. Зміна ефективних коефіцієнтів розподілу домішок в кремнії за довжиною
монокристалів……………………………………………………
4.3. Концентраційна залежність коефіцієнтів розподілу
домішок в кремнії…………………………………………………………….
4.3.1. Залежність величини коефіцієнта розподілу домішки бору від рівня
легування монокристалів кремнію……………………………………
4.3.2. Зв’язок величини коефіцієнта розподілу легуючих і фонових домішок з
їхньою концентрацією……………………………………………
4.4. Зв’язок розподілу мікродефектів в монокристалах кремнію з концентрацією
домішки бору………………………………………
Висновки до
розділу …………………………………………………………
Висновки………………………………………………………………………
Додаток А. Акт можливого використання результатів науково-дослідних робіт
Головка Юрія Вікторовича
Додаток Б. Акт використання результатів науково-дослідних робіт Головка Юрія
Вікторовича
Список