Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок в процессе их формирования и при внешних воздействиях : Фрактальный анализ

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Особенности рельефа поверхностей тонких пленок и способы его описания.
1.1. Общие закономерности роста тонких пленок
1.2. Факторы, влияющие на морфологию поверхностей тонких пленок в процессе роста.
1.2.1. Температура подложки
1.2.2. Скорость осаждения
1.2.3. Структура подложки
1.2.4. Поверхностноактивные вещества
1.2.5. Внутренние напряжения в пленке и на границе раздела пленкаподложка.
1.3. Влияние внешних воздействий на рельеф поверхностей тонких пленок.
1.3.1. Эволюция поверхностей тонких пленок в процессе термообработки
1.3.2. Изменение морфологии поверхностей металлических пленок при пропускании электрического тока
1.4. Способы описания рельефа поверхностей тонких пленок.
1.4.1. Концепция динамического скейлинга.
1.4.2. Фрактальный подход к оценке шероховатости поверхностей
тонких пленок
1.4.2.1.Понятие фрактала и фрактальной размерности.
1.4.2.2.Самоподобие и самоаффинность.
1.4.2.3.Локальная и глобальная фрактальные размерности.
1.4.2.4.Методы вычисления фрактальной размерности
1.4.2.4.1. Фрактальный анализ контура поверхности
1.4.2.4.2. Фрактальный анализ профиля поверхности
1.4.2.4.3. Фрактальный анализ поверхности
1.4.2.5. Применение фрактального анализа для исследования поверхностей тонких пленок.
1.5. Выводы и постановка задачи
Глава 2. Фрактальный анализ поверхностей тонких пленок.
2.1. Технология изготовления тонких пленок.
2.2. Методика измерений
2.3. Выбор оптимального метода вычисления фрактальной размерности
2.4. Особенности применения фрактального описания для анализа изображений в сканирующей зондовой микроскопии
2.5. Определение диапазона фрактальности поверхностей тонких пленок
2.6. Влияние размеров изображения на величину фрактальной размерности.
2.7. Выводы
Глава 3. Эволюция рельефа поверхностей тонких диэлектрических
пленок в процессе их формирования
3.1. Влияние температуры подложки на рельеф тонких диэлектрических пленок
3.2. Зависимость шероховатости поверхностей тонких диэлектрических пленок от их толщины
3.3. Влияние легирующих примесей на морфологию поверхностей
тонких диэлектрических пленок
3.4. Обсуждение результатов эксперимента
3.5. Выводы.
Глава 4. Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок при термическом отжиге
4.1. Термообработка диэлектрических пленок
4.2. Термообработка пленок Аи.
4.3. Термический отжиг тонких пленок в вакууме
4.4. Обсуждение экспериментальных данных.
4.5. Выводы
Глава 5. Деградация пленок Аи при пропускании электрического тока высокой плотности
5.1. Влияние промежуточного диэлектрического подслоя на деградацию
Аи проводников.
5.2. Влияние плотности тока на процессы электромиграции в тонких пленках Аи.
5.3. Обсуждение результатов
5.4. Выводы
Заключение.
Список литературы