Моделирование переноса и переосаждения вещества, распыляемого с электродов в тлеющем разряде

Содержание
Введение
Глава 1. Перенос и переосаждение распыленного вещества в тлеющем разряде и методы их моделирования обзор литературы.
1.1. Распыление поверхности электродов.
1.2. Движение распыленных атомов в разрядном объеме
1.3. Переосаждение распыленных атомов на электроды и
стенки разрядного объема.
.4. Модели переноса и переосаждения распыленного вещества
в тлеющем разряде
Выводы к главе 1.
Глава 2. Диффузионный перенос и переосаждение распыленного вещества
в цилиндрическом разрядном объеме,
2.1. Влияние величины коэффициента конденсации распыленных атомов на стенках на их перенос в цилиндрической полости
2.2. Перенос распыленных атомов в цилиндрической разрядной камере с полым катодом.
2.3. Влияние неравномерности распыления полого катода на перенос распыленных атомов.
2.4. Влияние переосаждения распыленного вещества на динамику распределения плотности тока вдоль поверхности
полого катода
Выводы к главе 2.
Глава 3. Переосаждение распыленного вещества на катод с рельефной эмиссионной поверхностью.
3.1.1 Остановка задачи о диффузионном переносе распыленных атомов в разрядном объеме с сетчатым катодом.
3.2. Алгоритм численного расчета переноса распыленных атомов
в разрядном объеме с сетчатым катодом
3.3. Переосаждение распыленного вещества на сетчатый катод.
3.4. Переосаждение распыленного вещества на катод со
ступенчатым поверхностным рельефом.
Выводы к главе 3.
Глава 4. Перенос и переосаждение распыленного вещества в разряде переменного тока.
4.1. Переосаждение распыленных атомов на электрод в разряде
с большим межэлектродным расстоянием.
4.2. Перенос распыленных атомов в симметричном разряде
4.3. Перенос распыленных атомов в асимметричном разряде
Выводы к главе 4.
Заключение.
Литература