Содержание
Введение.
1. ВЧИплазмотроны принцип работы, особенности плазмотронов для спектрального анализа
1.1. Принцип работы ВЧИплазмотрона.
1.2. Особенности конструкции и параметров работы ВЧИ
плазмотронов для спектрального анализа.
1.3. Выводы.
2. Расчет параметров плазмы в ВЧИплазмотроне.
2.1. Математические модели равновесной и неравновесной плазмы в
ВЧИплазмотроне
2.2. Основные сведения о методе контрольного объема.
2.3. Расчетная сетка
2.4. Дискретные аналоги уравнений плазменных моделей
2.5. Обеспечение устойчивости. Линеаризация источникового члена.
2.6. Алгоритм решения.
2.7. Обработка результатов моделирования.
2.8. Выводы.
3. Результаты расчетов ВЧИплазмотрона
3.1. Исходные данные.
3.2. Расчеты по равновесной модели
3.3. Расчеты по неравновесной модели.
3.4. Выводы.,.
4. Экспериментальное изучение ВЧИплазмотрона для спектрального
анализа .
4.1. Экспериментальная установка.
4.2. Визуализация холодного канала.
4.3. Измерение электронной температуры плазмы.
4.4. Сравнение результатов расчета с экспериментальными данными .
4.5. Выводы
5. Моделирование движения и нагревания одиночной частицы в плазме
5.1. Движение одиночной частицы в плазме.
5.2. Нагревание одиночной частицы в плазме.
5.3. Результаты расчета частицы в потоке плазмы
5.4. Выводы
Заключение
Приложение 1. Установки для спектрального анализа на основе ВЧИ
плазмотронов.
П1.1. Источники питания
П1.2. Система распыления.
П1.3. Спектральные приборы
П1.4. Автоматизация и обработка данных
Приложение 2. Обзор математического моделирования ВЧИплазмотронов
П2.1. Развитие моделей ВЧИплазмы с по гг
П2.2. Двумерные модели равновесной плазмы.
ГО.З. Двумерные модели неравновесной плазмы.
Г.4. Моделирование плазменных технологий
ГО.5. Выводы
Приложение 3. Расчет свойств неравновесной аргоновой плазмы
П3.1. Расчет состава неравновесной плазмы.
П3.2. Расчет термодинамических свойств
ПЗ.З. Расчет транспортных свойств.
ГО.4. Расчет мощности излучения.
П3.5. Определение коэффициента рекомбинации.
П3.6. Выводы
Список обозначений
Список литературы
- Київ+380960830922