ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение .
Глава 1. Современные методы создания наноструктур
1.1. Литография .
1.2. Самосборка .
1.3. Выводы по главе 1
Глава 2. Метод получения 1пОаАзОаА5 трубок заданной длины .
2.1. Селективная эпитаксия краткий обзор литературы .
2.2. йКЗаАэСаАз трубки заданной длины.
2.3. Монокристалличность стенок нанотрубок
2.4. Выводы по главе 2
Глава 3. Получение наноструктур с использованием сверхкритических
сред .
3.1. Сушка микро и наноструктур краткий обзор литературы .
3.1.1. Разрушение микро и нанообъектов при сушке испарением
3.1.2. Методы профилактики разрушения при сушке.
3.2. Сушка 1пСаА8СаАз микро и наноструктур испарением .
3.3. Сверхкригические среды краткий обзор литературы
3.3.1. Общие свойства сверхкритических сред
3.3.2. Использование сверхкритических сред в микро и нанотехнологии
3.4. Сверхкритическая СОг сушка 1пСаАзОаА8 микро и наноструктур .
3.4.1. Промывание образца в ацетоне
3.4.2. Перенос образца в камеру установки и заполнение охлаждаемой камеры жидкой углекислотой
3.4.3. Замещение ацетона углекислотой и продувка камеры
3.4.3.1. Замещение ацетона жидкой углекислотой
3.4.3.2. Замещение ацетона сверхкритической углекислотой .
3.4.4. Перевод жидкой углекислоты в сверхкритическое состояние
3.4.5. Изотермическое понижение давления до атмосферного .
3.4.6.0стывание камеры и извлечение высушенного образца
3.5. Результаты экспериментов по сверхкритической сушке .
3.6. Сушка ваЛяСаАБ объектов в свсрхкритическом ацетоне
3.7. Травление жертвенного слоя в свсрхкритическом травителе
3.7.1. Предпосылки .
3.7.2. Эксперименты по сверхкритическому травлению .
3.8. Выводы по главе 3
Глава 4. Использование ИЮаАБСаАз нанотрубок в качестве масок
для получения структур с точным размером .
4.1.1пОаАзОаА5 трубка как маска
4.2. Сухое травление обзор литературы .
4.3. Эксперименты .
4.4. Выводы по главе 4
Основные результаты и выводы по диссертации.
Заключение
Библиографический список использованной литературы .
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность
- Киев+380960830922