Содержание
Содержание .
Введение
Глава 1. Факторы, влияющие на лучевую прочность л.п. оптических покрытий
1.1 Требования к состоянию подложки
1.1.1 Строение полированной поверхности
1.1.2 Глубокое шлифованиеполирование.
1.1.3 Обработка поверхности детали перед нанесением покрытий
1.2 Требования к пленкообразующим материалам
1.2.1 Обзор диэлектрических материалов,
используемых в интерференционной оптике и их свойства .
1.2.1.1 Галогениды
1.2.1.2 Сульфиды и селениды
1.2.1.3 Оксиды
1.3 Комбинации пленкообразующих материалов для зеркал.
1.4 Особенности получения пленок постоянного состава
1.4.1 Диоксид титана
1.4.2 Диоксиды гафния и циркония
1.4.3 Нанесение покрытий с использованием ионного ассистирования
1.4.4 Состояние арматуры камеры.
Выводы по главе 1.
Глава 2. Контроль лучевой прочности.
2.1 Влияние характеристик излучения лазера на лучевую прочность
2.2 Методы контроля лучевой прочности.
2.2.1 Лазерное разрушение прозрачных диэлектриков.
2.2.2 Разрушающий контроль
2.2.2.1 Схема стенда для контроля л.п
2.2. Методика проведения испытаний.
2.2.2.3 Обработка результатов
2.2.3 Неразрушающий контроль
Выводы по главе 2.
Глава 3 Изготовление образцов. Проведение измерений
ЭЛ Особенности контроля толщины.по массе
методКварцевого резонатора ..
3.2 Изготовление образцов зеркал на установке Ва1гегБ ВАК0 .
3.2.1 Краткий технологический процесс
3.2.2 Калибровка по кварцевому датчику .
3.2.3 Факторы, влияющие на точность контроля
толщины при кварцевом.контроле. .
3.3 Измерение спектральных характеристик изготовленных покрытий .
3.4 Результаты измерения лучевой прочности
35 Определение влияния точности нанесения покрытия на лучевую
прочность. .
3.6 Оценка измененияпоказателя преломления диоксида гафния из. различных партий....
3.7 Оценка влияния поглощения в слоях покрытия
на его лучевую прочность .. ,
Выводы по главе 3 ..
Глава 4. Расчет значенииэнергии отраженной
и прошедшей электромагнитных волн
для нспоглощающих покрытий .
4.1 Распространение света в многослойных системах. ..
4.2 Уравнение стоячей волныя
4.3 Расчет распределения электрической напряженности
Взеркальнойсистеме в программе МаСАЕ .
4.4 Методы анализа й синтеза оптических покрытий .
4.5 Расчет распределения электрической напряженности
в полученных образцах. .
4.6 Фотографии дефекгов покрытия,
возникающих при контроле лучевой прочности
Выводы по главе 4
Выводы по работе .
Список литературы
- Київ+380960830922