Повышение качества юстировки сверхточного оборудования за счет улучшения параметров управления магнитореологическими модулями линейных перемещений

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ ОБОРУДОВАНИЯ, ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО МЕХАНИЗМЫ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
1.1. Производство сверхбольших интегральных схем.
1.2. Позиционирование зеркал адаптивной оптики.
1.3. Настройка оптоволоконных систем.
1.4. Системы позиционирования в сканирующей микроскопии
1.5. Виброизоляция прецизионного оборудования
1.5.1. Пассивные виброизолирующие системы
1.5.2. Активные и полуактивные виброизолирующие системы
1.6. Обзор и анализ механизмов сверхточных перемещений и активной виброизоляции прецизионного оборудования.
1.6.1. Электромеханические механизмы.
1.6.2. Пьезоэлектрические и магнитострикционные механизмы
1.6.3. Пневмо и гидравлические системы точного позиционирования и виброизоляции
1.6.4. Комбинированные системы позиционирования
1.7. Развитие и перспективы использования магнитореологических устройств для прецизионного позиционирования и виброизоляции.
1.8. Сравнительный анализ устройств точного позиционирования.
1.9. Постановка цели и задач исследования
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ФИЗИЧЕСКИХ И ДИНАМИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ МАГНИТОРЕОЛОГОЧИСКИХ МОДУЛЕЙ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРМЕЩЕНИЙ И ПРОЦЕССОВ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ИХ РАБОТЕ
2.1. Состав и структура магнитореологических и магнитных жидкостей.
2.2. Физические основы работы магнитореологических механизмов
2.3. Физические модели поведения магнитореологических жидкостей в рабочих зазорах. Анализ и регулирование точности позиционирования
2.4. Механические модели поведения магнитореологических жидкостей в рабочих зазорах. Влияние реологических процессов на динамические характеристики магнитореологических модулей.
2.5. Расчет постоянного магнита и влияние создаваемого им магнитного поля на параметры магнитореологического дросселя.
2.6. Нелинейная модель магнитореологического дросселя
2.7. Разработка конструкции трехкоординатного магнитореологического модуля для адаптивной оптики.
2.7.1. Конструкция модуля позиционирования
2.7.2. Конструкция гидростанции для магнитореологического модуля
2.7.3. Конструкция арретира элементарного зеркала.
2.8. Разработка нелинейной динамической модели трехкоординатного магнитореологического механизма.
2.8.1. Уравнение перемещения магнитореологического механизма с учетом сил сопротивления и жесткости опорной конструкции перемещаемого объекта
2.8.2. Анализ и синтез системы автоматического регулирования САР
Выводы к Главе 2
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ УПРАВЛЕНИЯ МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИМИ ЖИДКОСТЯМИ МОДУЛЯ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
3.1. Цель и задачи экспериментальных исследований.
3.2. Экспериментальное оборудование и аппаратура для исследования параметров управления магнитореологическими жидкостями
3.2.1. Оборудование для исследования магнитных характеристик магнитоуправляемых жидкостей
3.2.2. Реометр для исследования реологических свойств магнитоуправляемых жидкостей
3.2.3. Реометр для исследования предела текучести магнитуправляемых жидкостей.
3.2.4. Стенд для исследования магнитореологического модуля для адаптивной оптики.
3.3. Исследование реологических свойств магнитореологической жидкости под действием магнитного поля и сдвиговых напряжений.
3.3.1. Получение кривых течения магнитореологической жидкости.
3.3.2. Исследование зависимости динамического предела текучести магнитореологической жидкости от приложенного магнитного поля.
3.4. Исследование динамики структурирования магнитореологической жидкости
3.5. Исследование магнитных характеристик магнитореологической жидкости
3.6. Исследование демпфирующих свойств магнитореологических
жидкостей
3.7. Исследование жесткости трехкоординатного магнитореологического модуля и несущей системы.
Выводы по главе 3
ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ РАСЧЕТА И ВЫБОРА
ПАРАМЕТРОВ УПРАВЛЕНИЯ МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИМИ
МОДУЛЯМИ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.
4.1. Выбор исходных данных для расчета и выбора параметров управления магнитореологическим модулем сверхточных перемещений
4.2. Инженерная методика расчета параметров управления
магнитореологическим модулем.
4.2.1. Методика расчета параметров магнитореологического модуля
4.2.2 Инженерная методика расчета параметров управления
магнитореологическим дросселем.
4.3. Расчет параметров управления магнитореологическим модулем для адаптивной оптики
4.4. Анализ и синтез системы автоматического регулирования
магнитореологического модуля для адаптивной оптики.
Выводы по главе 4
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА