Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания мощных ДМОП-транзисторов с оптимальной площадью при помощи средств приборно-технологического моделирования

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ДМОГ1 как мощный элемент интеллектуальных силовых интегральных схем и проблемы, возникающие при его разработке и 8 изготовлении
1.1 Интеллектуальные силовые схемы
1.2 Возможные конструктивнотехнологические особенности создания мощного
элемента для интеллектуальной силовой схемы.
1.3 Принцип работы, ВАХ и формулы, связывающие основные характеристики.
1.3.1 Вольтамперныс характеристики
1.3.2 Связь пробивного напряжения и сопротивления в открытом состоянии.
1.4 Общие выводы и постановка задачи диссертации ГЛАВА 2. МЕТОДИКА МОДЕЛИРОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК МОЩНОГО
ВЕРТИКАЛЬНОГО ДМОПТРАНЗИСТОРА С ОХРАННЫМИ КОЛЬЦАМИ
2.1 Существующие программы анализа характеристик полупроводниковых
приборов
2.2 Возможности САПР БУИОРБУБ и выбор программ данного пакета для проведения оптимизации конструкции и технологического маршрута изготовления мощного ДМОП транзистора.
2.3 Способы оценки пробивного напряжения с использованием инструментов
приборнотехнологического моделирования
2.4 Способы оценки сопротивления ДМОПтранзистора.
2.5 Выводы ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ФАКТОРОВ ВЛИЯЮЩИХ НА ПРОБИВНОЕ
НАПРЯЖЕНИЕ ДМОПТРАНЗИСТОРА
3.1 Параметры, влияющие на пробой рпперехода
3.1.1 Влияние полевой обкладки на лавинный пробой рп перехода
3.1.2 Влияние охранных колец на лавинный пробой рп перехода
3.2 Параметры, влияющие на пробивное напряжение ячейки ДМОПтранзистора
3.3 Выводы ГЛАВА 4 АНАЛИЗ ФАКТОРОВ ВЛИЯЮЩИХ НА СОПРОТИВЛЕНИЕ ДМОПТРАНЗИСТОРА В ОТКРЫТОМ СОСТОЯНИИ.
4.1 Составляющие сопротивление в открытом состоянии
4.2 Конструктивнотехнологические параметры, влияющие на сопротивление
ДМОПтранзистора
4.3 Влияние температуры среды
4.4 Модель сопротивления в открытом состоянии ДМОПтранзистора
4.5 Оптимизация ширины дрейфовой области РТ перехода
4.6 Выводы
ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА МОЩНОГО ДМОПТРАНЗИСТОРА
5.1 Сравнение результатов эксперимента и моделирования
5.2 Методика расчета мощного ДМОПтранзистора
5.3 Моделирование динамических характеристик ячейки ДМОПтранзистора
5.4 Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ