Развитие методов микротомографии и определение средней энергии электронов, отраженных от многослойных микроструктур

Оглавление.
Введение
Глава I
Некоторые характеристики взаимодействии электронного пучка с твердым телом обзор
1.1. Зависимость коэффициента отражения электронов от параметров мишени и
условий эксперимента.
1.2. Обобщенный коэффициент отражения электронов для структуры пленка
подложка.
1.3. Зависимость средней отраженной энергии от атомного номера Ъ материала
мишени и коэффициента отражения т.
1.4. Сравнительный анализ сигналов ОРЭ от слоистых структур в РЭМ.
1.5. Пространственное разрешение в катодолюминесцентной микроскопии.
Глава II
Определение средней энергии электронов, отраженных от однородных и слоистых структур
2.1. Методика измерений средней энергии отраженных электронов.
2.2. Зависимости средней энергии отраженных электронов от атомного
номера Ъ материала однородной мишени и от углов падения и отражения.
2.2.1. Характеристики как функции от г.
2.2.2. Зависимости от угла падения электронов и от угла детектирования
2.3. Средняя энергия электронов, отраженных от свободной пленки.
2.4. Средняя энергия электронов, отраженных от системы пленкаподложка.
2.4.1. Общие закономерности и результаты экспериментов.
2.4.2. Расчет средней отраженной энергии электронов от структуры
пленка на подложке.
2.5. Средняя энергия электронов, отраженных от заряженных диэлектриков.
Глава III
Усовершенствование метода и аппаратуры для электронной
микротомографии
3.1. Расчет оптимальных параметров и модернизация тороидального
спектрометра ОРЭ.
3.2. Модуляционный принцип детектирования сигнала как способ повышения
контраста и качества сепарации в ОРЭтомографии.
3.3. О контрасте изображений подповерхностных микроструктур,
визуализируемых в обратнорасссяиных электронах в РЭМ.
3.3.1. Контраст изображений слоистых микроструктур при стандартных
экспериментах.
3.3.2. Контраст изображений в ОРЭ при томографической постановке
экспериментов.
3.4 Оценки локатьных толщин пленок в многослойных структурах по
спектрам ОРЭ.
3.4.1. Обоснование метода измерений.
3.4.2. Результаты исследований.
3.4.3. Сравнение экспериментальных спектров ОЭ с рассчитанными
методом Монте Карло.
Глава IV
Катодолюминссцентная микротомография на основе эллипсоидальной оптики в растровой электронной микроскопии
4.1. Основные принципы метода КЛ томографии.
4.2. Моделирование светового транспорта КЛ излучения в эллипсоидальном
зеркале.
4.3. Результаты расчетов распределения КЛизлучения.
4.4. Ограничения метода и пути повышения контраста изображений и
разрешения по глубине в конфокальной КЛмикротомографии.
Выводы
Список литературы