Содержание
Введение
1 Поверхностные фазы и их влияние на электрические свойства
Введение.
1.1 Поверхностные фазы и двумерная кристаллография.
1.2 Электропроводность поверхности полупроводников
1.2.1 Общие сведения об электропроводности полупроводников.
1.2.2 Электропроводность приповерхностной области полупроводников.
1.3 Исследование электрофизических свойств поверхностных фаз
1.3.1 Электрическая проводимость поверхностной фазы кремния
i 7x7.
1.3.2 Электрическая проводимость поверхностных фаз
кремни йадсорбат.
1.3.3 Электрические свойства захороненных поверхностных фаз. . Выводы.
2 Методы исследования
Введение.
2.1 Экспериментальная установка
2.2 Методы исследования
2.2.1 Метод дифракции медлен ных электронов.
2.2.2 Четырсхзондовый метод измерения сопротивления
2.3 Подготовка образцов
2.3.1 Приготовление образцов и получение атомарночистой поверхности кремния
2.3.2 Методика формирования поверхностных фаз на кремнии
Выводы.
3 Электрическая проводимость поверхностной фазы
02x1 при напылении адсорбата при КТ
Введение
3.1 Некоторые представления о проводимости поверхностных раз.
3.2 Измерения проводимости при напылении золота на поверхностную фазу 02x1
3.3 Измерение проводимости при напылении сурьмы на поверхностную фазу 02x1.
3.4 Измерение проводимости при экспозиции поверхностную фазу 02 х
в атмосфере атомарного водорода
3.5 Обобщение результатов
Выводы.
4 Электрическая проводимость поверхностных фаз кремнийадсорбат на кремнии 0
Введение
4.1 Измерение электрической проводимости поверхностных фаз и сверхтонких пленок на кремнии
4.2 Проводимость сверхтонкой пленки золота, сформированной при комнатной температуре
4.3 Исследование электрической проводимости поверхностных фаз кремнийзолото
4.4 Исследование электрической проводимости поверхностной фазы 02хЗКа.
4.5 Взаимодействие атомарного водорода с поверхностной фазой
02хЗКа
4.0 Обсуждение результатов.
Выводы.
Заключение
Библиография
- Київ+380960830922