Электронная структура, оптические и люминесцентные свойства слоев пористого кремния

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ВЗАИМОСВЯЗЬ МОРФОЛОГИИ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ
ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.
1.1. Механизм формировании пористого кремния
1.2. Морфология и кристаллическая структура пористого кремния.
1.3. Оптические свойства и электронная структу ра пористого кремния.
1.4. Механизмы фотолюминесценции пористого кремния
эксперимент и теория
ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ, АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ.
2.1. Методы исследования
2.1.1. Оптическая спектроскопия па просвет к отражение
2.1.2. Сканирующая электронная микроскопия
2.1.3. Фотолюминесцентная спектроскопия.
2.2. Экспериментальная аппаратура.
2.2.1. Ячейка для анодного травления и окисления монокрнсталлнческого кремния
2.2.2. Фурье ИКсиектрометр фирмы
2.2.3. Спектрофотометры 1, VVI и МДР3 спектрофотометр
2.2.4. Установка для регистрации спектров фотолюминесценции пористого кремния
2.3. Методы получения пористого кремния и расчета его оптических
функции.
2.3.1 Методы получения и окисления порисюго кремния
2.3.2 Расчет оптических функций тонких пленок пористого кремния в рамках
двухслойной модели
2.3.3 Расчет оптических функций пористого кремния из соотношения Крам ер саКронига
ГЛАВА 3. МОРФОЛОГИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ СЛОЕВ
ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.
3.1. Морфология н толщина слоен пористого кремния.
3.2. Оптические функции п параметры зонной структуры гонких слоев ПК в диапазоне энергий 0.16.2 эВ
3.3. Расчет толщины окисла на тонких слоях пористого кремния из данных
спектров пропускания.
Выводы но главе.
ГЛАВА 4. ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ И ТОЛСТЫХ СЛОЕВ
ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.
4.1. Люминесцентные свойства тонких окисленных слоев пористого крсмнинЮЭ
4.2. Влияние лазерного возбуждения на фотолюминесценцию пористого кремния после анодирования.
4.3. Фо юс имулированное анодирование и люминесцентные свойства толстых слоев пористого кремния
4.4. Модель фотолюминесценции в окисленных слоях пористою кремния.
4.5. Выводы по главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА