Формирование тонкопленочных слоев оксидов металлов методом реактивного импульсного лазерного осаждения и исследование их структурных и функциональных свойств

Оглавление
Оглавление.
Список сокращений
Введение
Актуальность проблемы.
Наноэлектроника.
Фотоволыпаика.
Спинтроника.
Цель работы
Задачи.
Научная новизна результатов, полученных в диссертации.
Практическая значимость
Основные положения, выносимые на защиту.
Достоверность полученных результатов.
Личный вклад автора
Апробация результатов работы.
Глава 1. Обзор возможностей различных методик роста тонкопленочных оксидов металлов и методов их исследования
Методы формирования тонкопленочных оксидов.
Грименеиие ИЛО для роста тонкопленочных оксидов металлов
Методы исследования сверхтонких оксидных слоев металлов
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Фотоспектрометрия
Глава 2. Совершенствование .метода ИЛО для формировании и исследовании оксидов металлов
Физические основы ИЛО
Реактивное И
Режимы роста пленок Н
Глава 3. Анализ и оценка результатов, полученных при формировании сверхтонких
оксидов металлов метолом реактивного ИЛО
ЕиОЕи23
СиОСи
Выводы
Список литературы