Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Пьезокерамические структуры с микроэлектронными устройствами.
1.1. Общая характеристика пьезоэлектрических элементов
1.2. Аналитические исследования в области материаловедения пленочных структур сегнето и пьезоэлектриков.
1.3. Ионноплазменное напыление сегнетоэлектрических пленок, общая характеристика магнетронного метода нанесения покрытий
1.4. Постановка задачи исследований
Глава 2. Математическое моделирование
2.1. Сопоставление результатов эксперимента с результатами расчетов и математического моделирования
2.2. КонечноЭлементный Анализ.
2.3. Результаты
Глава 3. Методы и условия формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов.
3.1. Основные параметры материала мишени ЦТС.
3.2. Эффект молекулярного кластерного массопереноса в технологическом процессе получения тестовых пленочных структур ссгнсто и
ьезоэлектриков.
3.3. Режимы формирования сегнетоэлектрических пленок.
3.4. Сверхтонкие сегнетоэлекгрические пленки твердых растворов цирконата
титаната свинца
Глава 4. Исследования гетероструктур тонких пленок.
4.1. Методики измерений
4.1.1. Методика определения профиля распределения элементов в плнках с использованием Ожесиектроскопии.
4.1.2. Методы рентгеновского анализа.
4.1.3. Методика измерений диэлектрического гистерезиса.
4.1.4. Атомносиловая микроскопия
4.1.5. Электронная микроскопия.
4.2. Исследование лабораторных образцов тонких сегнетоэлектрических пленок твердых растворов ЦТС и наногетерогенных структур металл
сегнетоэлектрик металл.
4.2.1. Результаты рентгеноструктурных рентгенофазовых исследования сегнетоэлектрических пленок ЦТС
4.2.2. Определение состава сегнетоэлектрических пленок ЦТС.
4.2.3. Исследование профиля распределения элементов в сверхтонких сегнетоэлектрических пленках ЦТС.
4.2.4. Исследование поверхностей сверхтонких сегнетоэлектрических пленок ЦТС.
4.2.5. Исследование петель гистерезиса пленок ЦТС
Глава 5. Формирование микроструктур на основе пленок ЦТС.
5.1. Технология получения пьезоэлектрических тонких пленок.
5.2. Изготовление тонкопленочных пьезокерамических элементов
Заключение и выводы.
Список литературы