ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
I лава 1. Аналитический обзор литературы
1.1. Современные представления о морфологии 7 поверхности. Фрактальные поверхности.
1.2. Поверхность осажденных пленок и строение границ раздела в многослойных структурах.
1.3. Методы исследования поверхностного рельефа .
1.4. Методы измерения параметров сверхтонких покрытий.
1.5. Метод рентгеновской рефлектометрии
1.5.1. Оптика рентгеновских лучей
1.5.2. Явление полного внешнего отражения
1.5.3. Диффузное рассеяние в режиме полного внешнего отражения
1.5.4. Модели, учитывающие наличие переходного поверхностного слоя
1.5.5. Анализ неоднородностей распределения электронной плотности
1.5.6. Возможности восстановления профиля электронной плотности в поверхностном слое
1.6. Многослойные структуры
Глава 2. Методика проведения эксперимента
2.1. Рентгеновский рефлектометр
2.2. Факторы, влияющие на искажение идеальной рефлскто граммы
2.3. Измерения зеркального отражения
2.4. Измерения диффузного рассеяния
Глава 3. Результаты экспериментальных исследований и их обсуждение
3.1. Исследование качества подложек
3.2.Исследование однослойных покрытий
3.2.1. Исследование металлических пленок
3.2.2. Исследование субмикропных покрытий
3.2.3. Исследование поверхности пленок после ионного травления
3.3. Исследование углеродных пленок
3.3.1. Исследование однослойных углеродных пленок
3.3.2. Исследование многослойных углеродных структур
Основные результаты и выводы
Список литературы
- Київ+380960830922