Разработка и исследование операционных преобразователей электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. АНАЛИЗ ПУТЕЙ УЛУЧШЕНИЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИЗДЕЛИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
1.1. Вводные замечания
1.2. Место и роль контрольноизмерительных операций в общем технологическом цикле производства микросхем.
1.3. Анализ путей агрегатированного построения автоматизированных средств измерения для технологического контроля изделий микроэлектроники
1.4. Систематизированный обзор способов и средств операционного интегрирущего преобразования электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники.
Цели и задачи диссертационной работы
Основные результаты и выводы.
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ ТОЧНОСТИ ОПЕРАЦИОННЫХ
ИНТЕГРИРУЩИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ.
2.1. Вводные замечания
2.2. Анализ динамических свойств интегрирующих преобразователей следящего уравновешивания с нефинит
. ной ИПФ при входном воздействии типа меандра
2.3. Исследование избирательных свойств интегрирующих преобразователей с финитной ИПФ в режимах синх. ронного и фазового детектирования.
2.4. Разработка динамической модели квадратичных интегрирующих преобразователей.
2.5. Анализ влияния внутрисхемных шумов на результат преобразования операционных интегрирующих преобразователей как динамических систем
Основные результаты и выводы.
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ НОВЫХ АЛГОРИТМОВ
ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ И БАЗОВЫХ СТРУКТУР ОПЕРАЦИОННЫХ ипн
3.1. Вводные замечания
3.2. Разработка и исследование алгоритма функционирования и базовой структуры линейного ИПН следящего уравновешивания с не финитной ИПФ
3.3. Разработка и исследование алгоритмов функционирования и базовых структур линейных ИПН уравновешивающего преобразования с финитной ИПФ
3.4. Разработка и исследование алгоритмов функционирования и базовых структур квадратичных ИПН.
Основные результаты и выводы.
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ПУТЕЙ УЛУЧШЕНИЯ ОСНОВНЫХ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ОПЕРАЦИОННЫХ ИПН И РАЗРАБОТКА КОНКРЕТНЫХ РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО ИХ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЮ
4.1. Вводные замечания
4.2. Исследование возможности повышения входного сопротивления операционных ИПН.
4.3. Разработка операционных ИПН сигналов низкого уровня снижение порога чувствительности,2.
4.4. Исследование возможности уменьшения времени преобразования ИЛИ при сохранении свойства подавления помех нормального вида с частотой промышленной сети т
4.5. Разработка рекомендаций по улучшению других метрологических характеристик9
Основные результаты и выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА