Введение.
1.1. Методы измерения переходного сопротивления систем металлизации к кремнию.
1.2. Особенности проведения высокотемпературного эксперимента в условиях вакуума. Получение высоких температур с использованием светового облучения
1.3. Устранение вибраций при проведении прецизионного лабораторного эксперимента в условиях вакуума
Выводы к главе 1.
ГЛАВА 2. ФОТОННЫЙ ОТЖИГ ПЛЕНОК ХРОМА И АЛЮМИНИЯ
НА КРЕМНИИ
Введение.
2.1. Методика проведения фотонного отжига
2.2. Характеристика образцов и некоторые данные о свойствах границы раздела хромкремний.
2.3. Изучение микроструктуры пленок хрома на кремнии.
2.4. Зависимость контактного сопротивления границы раздела хромкремний и алюминийкремний от времени
фотонного отжига.
Выводы к главе 2.
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО НАТЯЖЕНИЯ, ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭНЕРГИИ И РАБОТЫ ВЫХОДА ЭЛЕКТРОНА НА НЕКОТОРЫХ МЕЖФАЗНЫХ ГРАНИЦАХ Введение
3.1. Метод нулевой ползучести.
3.2. Высокотемпературный вариант компенсационного метода нулевой ползучести для измерения поверхностного натяжения металлов в твердом состоянии.
3.3. Измерение поверхностного натяжения некоторых тугоплавких металлов и сплавов на границе раздела твердая фаза собственный пар
3.3.1. Поверхностное натяжение металлов редкоземельной группы
3.3.2. Поверхностное натяжение металлов переходной группы
3.3.3. Поверхностное натяжение некоторых термопарных сплавов в твердом состоянии.
3.4. Исследование поверхностного натяжения и адгезии на некоторых межфазных границах.
3.4.1. Адгезия пленок на твердых подложках.
3.4.2. Поверхностное натяжение твердых меди и серебра в парах олова.
3.4.3. Исследование поверхностного натяжения, работы выхода электрона стали ХНТ и адгезии к ней
ртути и амальгамы таллия.
Выводы к главе 3
ГЛАВА 4. ОРИЕНТАЦИОННАЯ ЗАВИСИМОСТЬ ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭНЕРГИИ, ПОВЕРХНОСТНОГО НАТЯЖЕНИЯ И РАБОТЫ ВЫХОДА ГЛАДКИХ ГРАНЕЙ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ.
4.1. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода электрона металлов и сплавов.
4.2. Расчет поверхностной энергии металлов 1В и 2В электронностатистическим методом.
4.3. Ориентационная зависимость поверхностной энергии и работы
выхода электрона металлических монокристаллов.
Выводы к главе 4
ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922