Ви є тут

Метакрилові мономери з різноактивними подвійними зв'язками для фоторезистних технологій.

Автор: 
Грищук Людмила Юріївна
Тип роботи: 
Дис. канд. наук
Рік: 
2003
Артикул:
0403U004002
129 грн
Додати в кошик

Вміст

Розділ 2
Об’єкти та методи дослідження
2.1. Методи очистки реагентів та розчинників
Анілін:
Очистку здійснюють перегонкою в вакуумі водоструйного насосу в атмосфері
інертного газу (аргону) з додаванням хлориду цинку. Характеристики продукту: т.
кип. 77-78єС/15 мм рт. ст., nD20 1,5850.
Ацетон:
Для видалення води ацетон кип’ятять із зворотнім холодильником протягом 2 годин
в присутності пентаоксиду фосфору (10 г/л) і переганяють при нормальному тиску.
Характеристики продукту: т. кип. 55-56єС/760 мм рт. ст., nD20 1,3591.
Бензол:
Для видалення води бензол кип’ятять з насадкою Діна-Старка протягом 4 годин,
потім видавлюють в нього натрієвий дріт і переганяють при нормальному тиску і
зберігають над натрієвим дротом. Характеристики продукту: т. кип. 79-80єС/760
мм рт. ст., nD20 1,5007.
н-Гексан:
Розчинник висушують кип’ятінням із зворотним холодильником протягом декількох
годин над натрієвим дротом і очищають перегонкою при нормальному тиску.
Характеристики продукту: т. кип. 67-68єС/760 мм рт. ст., nD20 1,3751.
Диметилсульфоксид:
Кип’ятять над гідридом кальцію (10 г/л) із зворотнім холодильником протягом 4
годин і відганяють в атмосфері азоту в вакуумі водоструйного насосу.
Характеристики продукту: т. кип. 71-72єС/12 мм рт. ст., nD20 1,4783.
N,N’-Диметилформамід:
Для очистки розчинник кип’ятять із зворотнім холодильником (~ 8 годин) над
гідридом кальцію (10 г/л) і потім відганяють на колонці довжиною 30 см в
вакуумі водоструйного насосу. Характеристики продукту: т. кип. 54-55єС/20 мм
рт. ст., nD20 1,4269.
1,2-Дихлоретан:
Розчинник висушують кип’ятінням із зворотнім холодильником протягом 3 годин в
присутності пентаоксиду фосфору (20 г/л) і потім відганяють при нормальному
тиску. Характеристики продукту: т. кип. 83-84єС/760 мм рт. ст., nD20 1,4444.
Оцтова кислота (льодяна оцтова кислота):
Продажну оцтову кислоту поміщають в холодильник, щоб вона повільно
закристалізувалася. Рідину, що залишилася, відділяють декантацією. Залишки води
видаляють багатогодинним кип’ятінням із зворотнім холодильником в присутності
пентаоксиду фосфору (10 г/л). Характеристики продукту: т. кип. 117-118єС/760 мм
рт. ст., т. пл. 16-17єС.
Тетрахлорметан:
Розчинник кип’ятять над пентаоксидом фосфору (20 г/л) із зворотнім
холодильником і відганяють на колонці. Характеристики продукту: т. кип.
76-77єС/760 мм рт. ст., nD20 1,4603.
Толуол:
Висушують і очищують, як і бензол. Характеристики продукту: т. кип.
109-110єС/760 мм рт. ст., nD20 1,4969.
Хлороформ:
Розчинник висушують кип’ятінням із зворотнім холодильником протягом 5 годин в
присутності безводного хлориду кальцію (20 г/л), потім переганяють.
Характеристики продукту: т. кип. 60-61єС/760 мм рт. ст., nD20 1,4455.
2,2’-Азо-біс-ізобутиронітрил:
Азо-біс-ізобутиронітрил розчиняють при нагріванні на водяній бані до 40-60єС в
перегнаному етиловому спирті до одержання насиченого розчину. Гарячий розчин
фільтрують і залишають в склянці, яка покрита фільтрувальним папером. Кристали,
які випадають з розчину, відфільтровують і сушать в вакуумі при кімнатній
температурі. Характеристики продукту: т. пл. 103єС.
п-Амінофенол:
Розчиняють, трохи підігріваючи, в невеликому надлишку розведеної HCl
промисловий п-амінофенол солянокислий, відфільтровують нерозчинну сірку і
фільтрат нагрівають до кипіння з активованим вугіллям. До киплячої рідини
обережно додають розчин сульфіту натрію (Na2SO3) до слабко лужної реакції
(pH=8). Після цього фільтрують. Фільтрат повинен бути безколірним або
світло-жовтим. Фільтрат залишають при температурі 0 єС, п-амінофенол, що
виділився, відфільтровують і промивають льодяною дистильованою водою, яка
містить невелику кількість бісульфіту натрію (Na2S2O5). Осад – білі пластини.
Характеристики продукту: т. пл. 184-186єС.
Малеїновий ангідрид:
Очистку здійснювали шляхом перекристалізації з тетрахлорметану. Характеристики
продукту: т. пл. 54-56єС.
Метилметакрилат:
Для очистки від гідрохінону і метакрилової кислоти ММА промивають 3 рази 5%
розчином Na2СO3 (на 4 об’єма мономеру застосовують 1 об’єм розчину соди), потім
дистильованою водою до нейтральної реакції. Промитий ММА сушать над безводним
сульфатом натрію, а потім відфільтрований від сульфату естер сушать над
безводним сульфатом магнію. Висушений мономер переганяють в вакуумі
водоструйного насосу при температурі не вище 60єС: т. кип. Характеристики
продукту: 100єС/760 мм рт. ст., nD20 1,4140.
Стирол:
Для очистки від домішок альдегідів стирол промивають 2-3 рази 5% розчином
NaHSO3, для очистки від інгібіторів - 10% розчином NaOH (на 4 частини стиролу
застосовують 1 частину розчину лугу). Потім мономер промивають дистильованою
водою до нейтральної реакції за фенолфталеїном. Промитий стирол сушать
безводним сульфатом магнію. Висушений стирол переганяють в вакуумі при
температурі не вище 60єС. Під час перегонки колбу-приймач охолоджують льодяною
водою. Характеристики продукту: т. кип. 44,6єС/20 мм рт. ст., nD20 1,5470.
Реагенти, які використовувалися без додаткової очистки (виробник – Aldrich
Chemical Company, Inc.):
4-аміно-1-нафтол гідрохлорид – тех., 90%, т. пл. 273єС (з розкл.);
5-аміно-1-нафтол – 97%, т. пл. 190єС (з розкл.);
цитраконовий ангідрид (метилмалеїновий) – 98%, т. пл. 7-8єС, т. кип. 213-214єС,
nD20 1,4712, d 1,247;
2,3-диметилмалеїновий ангідрид – 97%, т. пл. 93-96єС, т. кип. 223єС;
фенілмалеїновий ангідрид – 99%, т. пл. 120-122єС;
2,3-дифенілмалеїновий ангідрид – 98%, т. пл. 159-162єС;
2,3-дихлормалеїновий ангідрид – 97%;
1,2,3,6-тетрагідрофталевий ангідрид (4-циклогексен-1,2-дикарбокси ангідрид) –
98%, т. пл. 101-102єС;
метакриловий ангідрид – 94%, т. кип. 87єС/13 мм рт. ст., nD